半導体装置の検査業務では、半導体製造装置が正しく動作するか、または品質基準を満たしているかを確認します。 まず、装置の外観を目視でチェックし、傷や欠陥がないか確認します。 次に、装置の各機能や部品(温度調整、真空システムなど)が正常に動作するかテストします。 機械的な動きや電気的な特性もチェックし、仕様通りのパフォーマンスを発揮するかを確認します。
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